Физические основы микро- и нанотехнологий
Бычков С.П.
Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смеж- ных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехноло- гий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физичес- ких явлений, процессов и сред, являющихся основой этих техноло- гий. Приведены методы преобразования фундаментальных физичес- ких законов в прикладные технологические зависимости, расчеты фи- зических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специально- сти «Электронное машиностроение».
年:
2009
出版社:
Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
语言:
russian
页:
176
ISBN 10:
5703833191
ISBN 13:
9785703833193
文件:
PDF, 6.86 MB
IPFS:
,
russian, 2009
Litres
想添加您的书店？ 通过 support@z-lib.do 与我们联系
转换文件
更多搜索结果
其他特权 
![Тимченко П. Е. — Когерентная оптика [Электронный ресурс] : электрон. учеб. пособие](https://s3proxy.cdn-zlib.se/covers200/collections/genesis/1760e6f43a934d949f69003b9c25ac44a809787342e1d86d5c46ee3041de9274.jpg)
