Технология полупроводниковых материалов
Александров С.Е., Греков Ф. Ф.
Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных приемов их глубокой очистки, синтеза и получения в виде массивных монокристаллов. Приведены традиционные и новейшие технологические схемы и технические решения, даны краткие описания оборудования, позволяющие формировать оптимальные схемы производства с учетом требований к качеству продукции. Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по магистерской программе «Современные проблемы материаловедения» направления подготовки магистров «Материаловедение и технология материалов». Оно также может быть использовано при обучении в системах повышения квалификации и в учреждениях дополнительного профессионального образования.
年:
2012
出版:
2-е изд., испр.
出版社:
Издательство "Лань"
语言:
russian
页:
240
ISBN 10:
5811412908
ISBN 13:
9785811412907
文件:
PDF, 2.13 MB
IPFS:
,
russian, 2012